精密工作台

作品数：78被引量：242H指数：9
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0.1μm大行程精密定位控制系统的研究被引量：14
《仪器仪表学报》2000年第1期89-91,94,共4页米凤文 戴旭涵 沈亦兵 杨国光 
国家高技术 863计划资助项目
本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统。本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制 ,并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测。本系统工作行程 5 0 mm,定位精度± 0 .1μm。
关键词：精密工作台 精密定位控制 控制系统 
精密工作台伺服控制系统研究
《仪器仪表学报》2000年第z1期-,共3页白立芬 于水 李庆祥 李云平 
随着精密工作台运动速度和精度的进一步提高，对工作台的控制系统的要求也越来越高。本文针对微器件装配系统中粗动精密工作台的控制，研究了直流力矩电机的脉宽调制(PWM)驱动方法，控制系统通过引入速度和电枢电压负反馈，较好地解决...
关键词：精密工作台 PWM 低速爬行 死区 
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