互连方法

作品数：39被引量：83H指数：4
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植入式柔性神经微电极的互连方法
《功能材料与器件学报》2010年第5期471-478,共8页周亮 朱壮晖 张华 周洪波 孙晓娜 李刚 赵建龙 
国家973计划(No.2005CB724305);上海市自然科学基金项目(No.07ZR14134);上海市AM基金项目(No.08520740300);中国科学院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金项目(No.2008QNCX02)
为了实现植入式柔性神经微电极与外部记录或刺激装置的有效、可靠连接,本文提出了一种基于通孔电镀的植入式柔性神经微电极互连方法。该方法首先制作具有通孔结构的柔性互连膜,并将其通孔与待连接的植入式微电极焊接位点对准贴合,然后...
关键词：柔性基底 神经微电极 电镀 互连 
微波和高温器件的一种空气桥互连方法被引量：4
《Journal of Semiconductors》2008年第2期352-355,共4页林若兵 魏巍 冯倩 王冲 郝跃 
国家重大基础研究计划资助项目(批准号:513080301)~~
空气桥是单片微波集成电路MMICs的一种高速互连技术,其目的是减少微波大功率器件单位面积的寄生电容,提高器件的频率特性.文中提出了一种灵活性很强,应用于微波和高温器件的空气桥定型方法.该方法利用不同性质的光刻进行多层甩胶、低温...
关键词：空气桥 拱形 牺牲层技术 
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