激光刻图

作品数：1被引量：1H指数：0
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激光刻图在制造 a-Si 光伏器件中的应用被引量：1
《无机材料学报》1989年第3期269-275,共7页钟伯强 肖兵 
描述了在集成型 a-Si 光伏器件的制造中,利用高功率激光束进行刻图的新方法。作为激光刻图中材料除去的模型,被刻蚀材料的蒸汽压对材料除去会带来很大的影响。在制备 a-Si 光伏器件中,侧边接触的器件结构对激光刻图技术是很合适的。激...
关键词：激光刻图 α-Si 光伏器件 
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