激光外差干涉

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相关领域：电子电信机械工程更多>>
相关作者：陈洪芳陈本永谭久彬张恩政石照耀更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学浙江理工大学北京工业大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关期刊：《中国激光》《测试技术学报》《大连理工大学学报》《燃气轮机技术》更多>>
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适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪
《仪器仪表学报》1996年第6期658-661,共4页李彬 梁晋文 
适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬，梁晋文（东南大学机械系南京２１００１８）（清华大学精仪系北京１０００８４）０引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念，可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下，延长干涉测量的...
关键词：激光外差干涉仪 干涉仪 测量 
一种测量表面粗糙度的激光外差干涉仪
《仪器仪表学报》1990年第2期135-139,共5页古丽蓉 王佳 章恩耀 曹芒 
国家自然科学基金
本文讨论激光外差干涉技术测量表面粗糙度仪器的工作原理。作者利用两个声光调制器产生差频光,解调拍频信号并进行鉴相处理,精确测量表面粗糙度。文中还讨论了设计研制的表面粗糙度外差干涉仪的具体技术问题,对不同样品及加工表面进行实...
关键词：表面粗糙度 激光干涉仪 测量 
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