激光微加工

作品数：120被引量：383H指数：11
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镀铬活塞环表面椭圆微坑织构激光制备工艺研究被引量：4
《应用激光》2022年第1期52-59,共8页李子航 刘国东 解长鹏 刘祁文 王明珠 
国家自然科学基金青年基金(51705479);山西省自然科学基金(201801D121182)。
为优化激光制备表面微坑织构工艺参数,提高缸套-活塞环摩擦副的摩擦学性能,使用纳秒脉冲激光器在镀铬活塞环表面制备椭圆形微坑织构,探究激光功率、加工次数、扫描速度与填充线间距对微坑形貌及尺寸的影响。结果表明:增大激光功率与重...
关键词：激光微加工 表面微坑 织构 工艺参数 
激光抛光3D打印钛合金板的机理及工艺研究被引量：4
《应用激光》2019年第4期621-627,共7页周宇羚 单等玉 王争飞 陈涛 
首先用波长为10.6μm的二氧化碳激光对TC4合金表面进行抛光。利用三维形貌仪测量材料表面粗糙度,结合抛光前后材料表面微观形貌特征分析激光功率、离焦量、扫描速度、扫描间距等因素对该材料表面粗糙度的影响。获得理想的工艺参数,TC4...
关键词：激光微加工 激光抛光 TI6AL4V合金 
面向微通道以孔中心为缩放原点的激光微加工掩膜新装置
《应用激光》2015年第3期369-375,共7页王凯 吴坚 陈涛 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:51375024);北京市教育委员会科研发展计划重点资助项目(项目编号:KZ201210005009);航天医学基础与应用国家重点实验室开放基金资助项目(项目编号:SMFA13K06)
在制备薄膜改善微通道表面粗糙度和疏水性研究中发现,激光固化光斑的直径与微通道宽度的匹配十分重要。针对具有自主知识产权的微通道同轴气吹展技术和光预固化制备NOA61薄膜技术背景,提出了一种掩膜设计思路,即设计分析掩膜直径在微米...
关键词：掩膜 微通道 激光微加工 
激光微加工中的像差分析与补偿措施研究
《应用激光》2015年第3期376-379,共4页李庆海 林瑞昌 
激光微加工中,被加工材质与空气的折射率不同会产生像差,影响加工效果。基于激光微加工机理,运用波前像差函数推导出像差表达式,得到光学系统参数、加工深度与像差的关系曲线。采用泽尔尼克循环多项式对像差进行补偿,获得补偿后的系统...
关键词：补偿模型 泽尔尼克多项式 波前像差函数 
激光与熔融石英作用的温度累积研究被引量：2
《应用激光》2015年第1期44-47,共4页严会文 白忠臣 秦水介 陆安江 
基于傅里叶热传导方程,利用有限差分法计算了石英在激光作用下的温度场分布。结果表明在连续激光的作用下,石英的轴向温度变化分为升温过程和降温过程。考虑热累积效应,辐照0.1、0.5、0.8s后温度较之前分别升高了约10、100、200℃,激光...
关键词：激光微加工 温度累积 有限差分法 热传导方程 
基于飞秒激光的石英刻蚀参数探讨被引量：6
《应用激光》2012年第1期45-48,共4页周广福 胡华东 牛晓东 戴玉堂 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:51175393);湖北省自然科学基金重点资助项目(项目编号:2011CDA055)
主要从实验角度研究了在波长780 nm飞秒激光作用下石英的烧蚀,给出了石英烧蚀孔径与能量的关系,计算出石英的烧蚀阈值为1.06 J/cm^2。并研究了光阑对孔径的影响,能量、扫描速度、扫描次数与微槽宽度和微槽深度的关系。
关键词：飞秒激光 激光微加工 石英 
基于神经网络的157nm激光微加工
《应用激光》2010年第4期300-303,共4页崔健磊 戴玉堂 徐刚 白帆 
国家自然科学基金资助项目(项目编号:50775169)
157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络优化工艺参数的方法。分析与实验结果表明,利用优化的工艺参数进行激光微加工,其刻蚀质量得到明显提高。
关键词：157nm激光 微加工 刻蚀质量 神经网络 工艺优化 
激光微加工设备模块化设计
《应用激光》2009年第2期120-122,共3页朱立汀 张伟 
上海市科委应用技术开发项目(项目编号:08-106)
近年来,激光精细加工技术在我国的先进制造业特别是微加工领域得到了迅猛的发展,作为一种新兴的加工技术,其有非接触、无磨损、无污染、效率高、附加值高等传统技术无法比拟的先进性和优越性,正在逐步取代现有技术成为精细加工技术主流...
关键词：激光微加工 模块化 功能模块 通讯接口 
玻璃材料微通道的三倍频激光微加工研究被引量：7
《应用激光》2006年第6期365-368,共4页翟立斌 赵宏亮 陈继民 
国家自然科学基金项目(05575005);北京市教委项目(KW200510025013)资助
本文提出了一种新的制备生物芯片微通道的方法,从玻璃材料的特点与激光精密加工的优点出发,用三倍频ND：YAG激光器(λ=355nm)在玻璃基体上加工生物芯片微通道。文章对这种方法进行了初步探索,先用三倍频紫外激光对玻璃直接刻蚀,再用显...
关键词：玻璃 生物芯片 微通道 三倍频激光 微加工 
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