激光直写技术

作品数：43被引量：101H指数：5
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基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究(特邀)
《中国激光》2024年第12期431-439,共9页庞茂璋 邱毅伟 曹春 匡翠方 
国家自然科学基金(22105180);浙江省尖兵领雁重点研发项目(2023C01186、2023C01051);之江实验室重大科学项目(2020MC0AE01);浙江省自然科学基金(LQ22F050017)。
飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0...
关键词：激光技术 飞秒激光直写 剥离工艺 金属图案化 掩模板加工 光刻胶 
基于纳米颗粒热效应的飞秒激光高效直写金属铜微结构被引量：6
《中国激光》2022年第8期155-165,共11页崔梦雅 黄婷 肖荣诗 
国家自然科学基金(51975018)。
在Cu(NO_(3))_(2)前驱体溶液中添加硅纳米颗粒,采用飞秒激光在透明基底表面成功直写了导电金属铜微结构。前驱体溶液中的硅颗粒作为吸光粒子吸收激光能量后对溶液进行加热,使Cu^(2+)还原为金属铜并沉积在基底表面。结果表明:当激光光强...
关键词：激光技术 飞秒激光 激光直写技术 吸光粒子 铜微结构 导电性 
飞秒激光直写技术制备功能化微流控芯片研究进展被引量：33
《中国激光》2019年第10期1-20,共20页史杨 许兵 吴东 肖轶 胡衍雷 姚成立 
国家自然科学基金(61475149,51675503);安徽省高校优秀青年骨干人才国内外访学研修项目(gxgnfx2018024);中央高校基本科研业务费专项资金(WK6030000004);江苏省高校教师专业带头人高端研修项目(2018GRFX043)
飞秒激光具有独特的超短脉宽和极高的峰值强度,飞秒激光直写技术已广泛用于功能化微流控芯片的制备。从3个方面针对基于飞秒激光直写技术的微流控芯片进行综述:不同材料微流控芯片中的飞秒激光功能器件集成技术、飞秒激光集成微流控芯...
关键词：激光技术 飞秒激光 微流控芯片 微管道 多功能应用 快速加工 
曲面基底衍射光学元件的激光直写技术被引量：7
《中国激光》2017年第6期85-91,共7页姜俊 刘晋桥 徐颖 于颜豪 
国家自然科学基金(91423102;91323301;61605055;21473076)
飞秒激光直写技术(FsLDW)因其优异的三维加工能力、高空间分辨率、低附加损伤等优点被广泛地应用于微纳加工领域,但传统飞秒激光直写技术在加工效率、加工面积和加工精度之间存在矛盾。为了实现高速、大面积、高精度的激光微纳加工,构...
关键词：激光光学 衍射光学元件 飞秒激光直写 极坐标系扫描 
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