集成传感器

作品数：162被引量：391H指数：8
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带触觉反馈功能的压电执行器 东电化(中国)投资有限公司
《传感器世界》2017年第5期47-47,共1页
东电化（中国）投资有限公司（TDK）推出创新性的带触觉反馈和集成传感器（PowerHap）功能的压电执行器，新产品在加速度、力和响应时间方面均具有优越的性能，可提供高质量的触觉反馈。结构紧凑且功能强大，通过结合各种人类触觉的敏...
关键词：压电执行器 触觉反馈 功能 集成传感器 响应时间 结构紧凑 人机交互 加速度 
MXC400xXC单片集成三轴加速度计 美新半导体(无锡)有限公司
《传感器世界》2014年第12期46-46,共1页
美新半导体推出MXC400xXC单片集成信号处理和MEMS传感器的三轴（3D）加速度计，采用圆片级土寸装上艺的3D加速度计。3D集成传感器和圆片级封杖的整合降低了近60％的成本，传感器面积缩小了50％，引领全新的移动和消费类器件应用，包括...
关键词：加速度计 单片集成 三轴 MEMS传感器 移动电话 集成传感器 信号处理 器件应用 
生物/化学微传感器技术和应用(二)
《传感器世界》2008年第11期6-12,32,共8页史永基 高雅利 
本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺,给出了基本化学传感器原理和对应的化学/生物传感器应用实例,最后提出了单片集成化学/生物微传感器系统,...
关键词：化学/生物传感器 CMOS IC技术 集成传感器 微电子机械系统(MEMS) 微制造技术 
生物/化学微传感器技术和应用(一)被引量：1
《传感器世界》2008年第10期6-11,共6页史永基 高雅利 
本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺,给出了基本化学传感器原理和对应的化学/生物传感器应用实例,最后提出了单片集成化学/生物微传感器系统,...
关键词：化学/生物传感器 CMOS IC技术 集成传感器 微电子机械系统(MEMS) 微制造技术 
新型霍尔硅集成传感器
《传感器世界》2000年第3期10-13,共4页C.Schott F.Burger H.Blanchard L.Chiesi 张健 
本文概述了硅霍尔传感器的进展,介绍了采用微电子技术的制造工艺和高精度矢量磁探头的研制,以及已被验证的采用磁断续器增强检测灵敏度的新结构器件,并以角位移传感器和电流传感器为例介绍了其最新应用。
关键词：传感器 硅集成芯片 霍尔器件 
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