集束型装备

作品数：19被引量：19H指数：2
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：李林瑛胡静涛郑秀红卢睿臧洁更多>>
相关机构：大连外国语大学中国科学院辽宁警察学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《半导体技术》《控制与决策》《信息与控制》《计算机集成制造系统》更多>>
相关基金：辽宁省教育厅高等学校科学研究项目沈阳市科技计划项目国家自然科学基金辽宁省高等学校优秀人才支持计划更多>>
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求解混流集束型装备调度问题的差分进化算法
《数学的实践与认识》2020年第22期167-178,共12页李林瑛 卢睿 
国家社会科学基金一般项目(15BYY028);2017年大连外国语大学科研基金(2017XTZD04);辽宁省自然科学基金(20180550284);大连外国语大学研究创新团队项目“计算语言学与人工智能创新团队”(2016CXTD06)。
针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过定义机械手搬运作业,将双排序问题转换为单排序问题,并将其应有到染色体编码中;设计基于禁止区间法的启发...
关键词：集束型装备 晶圆制造 差分进化算法 混流加工 滞留时间约束 
求解集束型装备调度问题的改进遗传算法被引量：2
《数学的实践与认识》2019年第6期166-175,共10页李林瑛 卢睿 
辽宁省科学研究青年项目(LQ201787002);2017年大连外国语大学科研基金项目(2017XJZD04);辽宁省自然科学基金项目(20180550284)
针对半导体制造中的有滞留时间约束集束型装备调度问题,以最小化生产周期为目标,建立问题的数学模型,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法.设计基于禁止区间法的启发式构造算法以生成初始种群,避免了不可行染色体的产生;通过...
关键词：遗传算法 集束型装备 半导体制造 滞留时间约束 
有滞留时间约束的两集束型装备调度模型
《数学的实践与认识》2017年第5期179-189,共11页李林瑛 卢睿 邹咏楠 
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137;L2014011;L2014455;L2014456);辽宁省大学生创新创业训练计划项目(201610172000015)
针对有滞留时间约束和并行加工的两集束型装备调度问题,分别推导了三类不等式约束条件,包括加工模块处于加工和空闲两种状态下的滞留时间约束、任意单个和两个搬运作业情况下的机械手搬运能力约束,以及缓冲模块能力约束,从理论上证明了...
关键词：两集束型装备 半导体制造 调度模型 滞留时间约束 并行加工模块 
加工多类型晶圆的集束型装备调度模型被引量：3
《数学的实践与认识》2016年第16期152-161,共10页李林瑛 卢睿 臧洁 
国家自然科学基金(61501082);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137;L2014011;L2014455;L2014456)
研究了加工多类型晶圆和有滞留时间约束的集束型装备调度问题,其中包括晶圆排序和双臂机械手搬运作业排序两类问题.分别推导了三类不等式约束条件,包括加工模块处于加工和空闲两种状态下的滞留时间约束、任意单个和两个搬运作业情况下...
关键词：集束型装备 半导体制造 调度模型 多类型晶圆加工 滞留时间约束 
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