角速度传感器

作品数:140被引量:163H指数:6
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基于蜜蜂平衡棒的仿生MEMS导航传感器的设计与仿真被引量:2
《传感技术学报》2012年第10期1395-1399,共5页刘尧 唐军 刘俊 曹卫达 
国家973项目(2012CB723404)
针对目前角速度传感器检测维数单一、体积大的缺点,以蜜蜂平衡棒为仿生模型,详细分析了平衡棒的导航原理,结合MEMS技术,设计了一种新型的三维角速度微传感器。利用ANSYS对传感器结构进行仿真、优化,得到了合适的结构尺寸,在±20 V的驱...
关键词:仿生MEMS 三维角速度传感器 有限元分析 蜜蜂平衡棒 
基于飞蛾触角的仿生MEMS导航传感器的设计与仿真被引量:2
《传感技术学报》2012年第5期561-565,共5页唐军 刘尧 刘俊 郭浩 石云波 张贺 温涣飞 赵锐 
国家973子课题项目(2012CB723404)
以飞蛾触角导航为仿生依据,通过建立其导航数学模型,利用MATLAB对该模型的导航原理进行仿真分析,结合仿生学,设计了一种新型MEMS三维角速度传感器模型,并对该传感器的加工工艺进行了设计,该传感器主要由折叠梁和坡莫合金棒组成,通过ANSY...
关键词:仿生MEMS 三维角速度传感器 有限元分析 飞蛾触角 
一种栅型结构微机械陀螺的研究被引量:5
《中国机械工程》2003年第3期184-186,共3页熊斌 车录锋 王跃林 
国家重点基础研究发展规划资助项目 (G19990 3 3 10 1)
介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作。新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼 ,且几乎相同 ,惯性质量块为栅型结构 ,由弹性悬臂梁支撑 ;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方。分析了新型陀螺的工作...
关键词:栅型结构 微机械陀螺 动力学方程 角速度传感器 微机械加工技术 
栅结构微机械陀螺运动特性的研究被引量:2
《机械强度》2001年第4期527-530,共4页熊斌 车录锋 王跃林 
国家重点研究发展规划项目"集成微光机电系统"(G1 9990 331 0 1 )
对一种新型微机械振动陀螺原型的运动特性进行了理论分析。采用差分电容信号调制解调方法测量了微机械陀螺驱动和检测模态的幅频特性。理论计算和实验结果表明 ,在大气状态下 ,该微机械陀螺驱动模态和检测模态的品质因子具有相近数值 ,...
关键词:微电子机械系统 角速度传感器 微机械陀螺 运动特性 
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