硅压阻式压力传感器

作品数：45被引量：250H指数：11
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相关期刊：《传感技术学报》《工程机械与维修》《航空动力学报》《科学与信息化》更多>>
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硅压阻式压力传感器引线键合工艺研究
《电子产品世界》2024年第8期16-19,共4页薄久旺 金琦 吕宏辉 于程程 李悦铭 
硅压阻式压力传感器具有高精度、高灵敏度、稳定性好等优点,广泛应用于航空、汽车、船舶等行业。在硅压阻式压力传感器的封装过程中,引线键合为关键过程,引线形态对传感器性能具有关键作用。根据引线键合机制,通过研究弧高(loop)、转折...
关键词：引线键合 引线形态 工艺参数 
MEMS压力传感器及其应用被引量：12
《电子产品世界》2009年第6期58-60,共3页颜重光 
简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。
关键词：MEMS压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器 
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