云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 氟化非晶碳薄膜

氟化非晶碳薄膜: 作品数：23被引量：80H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：宁兆元程珊华叶超辛煜刘雄飞更多>>; 相关机构：苏州大学中南大学重庆大学大连交通大学更多>>; 相关期刊：《材料科学与工程学报》《绝缘材料》《中国学术期刊文摘》《微细加工技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金江苏省高校省级重点实验室开放课题江苏省高校省级重点实验室开放课题资助项目更多>>

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氟化非晶碳膜的微结构分析被引量：1: 《真空科学与技术学报》2009年第1期38-41,共4页蒋爱华肖剑荣; 广西教育厅科研项目(No.200807MS044);桂林工学院博士启动项目(No.002401003252); 利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在不同的温度下制备了氟化非晶碳膜。采用原子力显微镜(AFM)、X射线光电子能谱(XPS)和傅里叶红外吸收光谱(FTIR)等仪器对薄膜微结构进行了表征。研究发现,氟化非晶碳膜微观结构与薄膜生长过程温...; 关键词：氟化非晶碳薄膜 PECVD 微结构沉积温度

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