氟化非晶碳薄膜

作品数：23被引量：80H指数：7
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CHF_3/C_6H_6等离子体中的基团分析
《功能材料与器件学报》2003年第3期240-246,共7页程珊华 宁兆元 李戈扬 叶超 杜伟 辛煜 
国家自然科学基金(批准号:10175048);上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室开放课题资助
在一个微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统中,测量了CHF3、C6H6及其混合气体放电的质谱和发射光谱图,分析了等离子体中主要基团的分布及其产生的途径,研究了放电功率和流量对主要基团密度的影响,以及它们与氟化非晶碳薄膜沉积速...
关键词：电子回旋共振等离子体 氟化非晶碳薄膜 四极质谱 发射光谱 化学气相沉积 薄膜 微波 CHF3 C6H6 基团 
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