CHF3

作品数:18被引量:12H指数:2
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Band Alignment at the Al2O3/β-Ga2O3 Interface with CHF3 Treatment
《Chinese Physics Letters》2020年第7期92-95,共4页Hao Liu Wen-Jun Liu Yi-Fan Xiao Chao-Chao Liu Xiao-Han Wu and Shi-Jin Ding 
Supported by the Guangdong Province Key Technologies Research and Development Program(Grant No.2019B010128001);the National Natural Science Foundation of China(Grant No.61774041);the Shanghai Science and Technology Innovation Program(Grant No.19520711500)。
The energy band alignment at the atomic layer deposited Al2O3/β-Ga2O3 interface with CHF3 treatment was characterized by x-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry(SIMS).With additional CHF3...
关键词:CHF3 SIMS TREATMENT 
三氟甲烷与乙烯基自由基气相反应的机理研究被引量:1
《山西大学学报(自然科学版)》2019年第1期189-194,共6页冯丽霞 贾杰 
国家自然科学基金(21776199)
文章对CHF3与C2H3·反应的微观机理及反应路径特性进行了研究,并预测了不稳定物种CH2CHCF2·与CHF2CHFCH2·的生成焓(-222.2±6.7与-496.2±6.0kJ/mol)。计算显示,除氢抽提通道外,标题反应尚存在氟抽提(R1)、消氟化氢(R2)与自由基形成(...
关键词:CHF3 C2H3· 反应机理 自由基形成反应 热力学性质 
Effect of CHF3/Ar Gas Flow Ratio on Self-masking Subwavelength Structures Prepared on Fused Silica Surface
《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》2018年第2期349-355,共7页伍景军 叶鑫 HUANG Jin SUN Laixi ZENG Yong WEN Jibin GENG Feng YI Zao 蒋晓东 张魁宝 
Funded by the National Natural Science Foundation of China(Nos.61705204 and 51606158);the Laser Fusion Research Center Funds for Young Talents(No.LFRC-PD011)
Based on an advanced technology, randomly-aligned subwavelength structures(SWSs) were obtained by a metal-nanodot-induced one-step self-masking reactive-ion-etching process on a fused silica surface. Metal-fluoride...
关键词:metal-induced self-masking one-step reactive ion etching subwavelength structure 
三氟甲烷对四氟乙烯单体悬浮聚合时结“团”的影响研究
《扬州职业大学学报》2015年第2期48-49,57,共3页顾定松 
四氟乙烯(C2F4)单体悬浮聚合过程中微量三氟甲烷(CHF3)能使反应引发剂产生的自由基发生转移,能存在于聚合物链分子端基,使聚合反应终止或阻滞聚合反应的进行,也能破坏正常聚合体系的稳定性。同时这些被终止或阻滞反应的聚合物链容易被...
关键词:四氟乙烯(C2F4) 三氟甲烷(CHF3) 悬浮聚合 自聚“团” 
CHF3与O(3P)反应机理的理论研究被引量:2
《分子科学学报》2014年第1期12-17,共6页冯丽霞 郑慧敏 田宏伟 
国家自然科学基金资助项目(21076138)
采用从头算MP2/6-311G(d,p)方法研究了CHF3与O(3 P)的反应机理,优化了所有反应物、产物和过渡态的几何构型,并通过振动频率分析和内禀反应坐标(IRC)方法确证了过渡态的真实性.在QCISD(T)/6-311++G(d,p)水平上精确计算了各反应物种的单点...
关键词:CHF3 反应机理 过渡态 QCISD(T) MP2 
Determination of Electron Swarm Parameters in Pure CHF_3 and CF_4 by a Time-Resolved Method被引量:5
《Plasma Science and Technology》2013年第1期25-29,共5页肖登明 邓云坤 
supported by National Natural Science Foundation of China (No. 51177101)
The density-normalized effective ionization coefficient (α - η)/N (α and η are the ionization and attachment coefficients respectively), the electron drift velocity Ve and density- normalized longitudinal diff...
关键词:electron swarm parameters CHF3 CF4 pulse Townsend discharge GWP 
CF3I气相催化合成机理研究
《化工时刊》2012年第4期35-36,共2页赵亚文 顾黎黎 顾琦玲 薛蒙伟 张凤 
CHF3分别进行了空管裂解及活性炭催化裂解,并对反应后的活性炭进行XPS分析。实验结果表明:CHF3在催化剂作用下热解生成CF2卡宾,并在活性炭表面形成稳定结合,为CF3I气相催化合成的CF2卡宾机理提供了有力证据。
关键词:CHF3 催化 CF2 CF3I 
气相色谱法测定NF3气中CHF3的方法研究被引量:1
《舰船防化》2010年第6期37-40,共4页郭英 李翔宇 李本东 
本文介绍用气相色谱热导检测器分析NF3气中CHF3的方法。并根据浓度的不同采样及样品处理方法,用GC-14C气相色谱法测定,色谱柱为PorapakQ柱,检测器为TCD热导检测器。该方法灵敏度高,线性好,本方法检出限为1×10-6v/v。
关键词:气相色谱 热导检测器 三氟化氮 三氟甲烷 
CHF_3及其混合气体放电特性的试验研究
《宁夏电力》2010年第C00期100-107,共8页李文涛 
在查阅大量气体放电和击穿试验等国内外文献,了解气体放电过程机理的基础上,通过自制的试验装置,对CHF3和N2、CO2的混合气体的绝缘性能进行试验研究,根据试验结果对CHF3和N2、CO2混合气体与SF6/N2混合气体的绝缘性能比较,阐述CHF3和N2、...
关键词:CHF3 SF6 气体放电 绝缘性能 
CHF3双频电容耦合放电等离子体特性研究
《物理学报》2010年第4期2661-2665,共5页胡佳 徐轶君 叶超 
国家自然科学基金(批准号:10575074,10975105,10635010)资助的课题~~
研究了用于SiCOH低介电常数薄膜刻蚀的CHF3气体在13.56MHz/2MHz,27.12MHz/2MHz和60MHz/2MHz双频电容耦合放电时的等离子体性质.发现2MHz低频源功率的增大主要导致F基团密度的增大;而高频频率从13.56,27.12增大到60MHz,导致CF2基团的密...
关键词:双频电容耦合放电 CHF3等离子体 
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