复合驱动

作品数：111被引量：303H指数：9
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多场耦合下PLZT陶瓷光致电场效应及其应用被引量：1
《传感技术学报》2018年第6期872-879,共8页黄家瀚 张崇 王骥 王新杰 
国家自然科学基金项目(51675282);浙江省教育厅科研计划项目(Y201635851);宁波大学科研基金项目(XYL17006)
针对现有数学模型对高能紫外光束照射下PLZT陶瓷光生电压实验变化规律无法进行合理解释的问题,基于多物理场耦合机制分析构建了PLZT陶瓷多场耦合下的光致电场数学模型,并对光致电场实验曲线进行了理论分析,然后针对光生电压控制提出了单...
关键词：PLZT陶瓷 多物理场耦合 光致电场 复合驱动微镜 光控微泵 
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文)被引量：1
《传感技术学报》2006年第05A期1750-1753,共4页栗大超 吴文刚 袁勇 陈庆华 郝一龙 胡小唐 
为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性,降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性,提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜.提出的硅微机械扭转微镜将垂直扭转梳齿静电驱动结构、侧壁平行板电容静电驱动结构有机结合,...
关键词：MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度 
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