高K材料

作品数：29被引量：44H指数：4
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多元高k氧化物材料的研究进展
《材料导报》2009年第15期35-39,共5页苏伟涛 王锦程 
浙江省教育厅科研项目(Y20080481)
近年来,多元高k氧化物材料一直是高k材料研究的热点。从材料结构以及物理性能研究方面对多元高k氧化物如多元稀土氧化物、多元过渡金属氧化物、稀土氧化物-过渡金属化合物的最新研究进行了总结。并对高k材料中最有应用潜力的氮氧化物和...
关键词：栅介质薄膜 高K材料 多元稀土氧化物 氮氧化物 
新一代栅介质材料——高K材料被引量：5
《材料导报》2006年第2期17-20,25,共5页李驰平 王波 宋雪梅 严辉 
北京市教育委员会科技发展计划(Km200310005011);北京市优秀人才培养专项经费资助项目(20041D0501513);北京市"中青年骨干教师培养计划"项目
介绍了微电子工业的发展趋势和Si O2作为CMOS栅介质减薄所带来的问题,从而引出对高K材料的需求,简单介绍了作为栅极介质的各种高介电常数材料的性能的比较及制备高K薄膜的主要方法,总结了一些高K材料的研究现状,论述了目前有待进一步解...
关键词：高K材料 SiO2栅介质减薄 等效SiO2厚度 介质材料 高介电常数材料 一代 发展趋势 微电子工业 CMOS SIO2 
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