高精度位移传感器

作品数：26被引量：96H指数：6
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高精度位移传感器线性度标定方法研究被引量：24
《仪器仪表学报》2015年第5期982-988,共7页张德福 葛川 李显凌 倪明阳 郭抗 李朋志 
国家科技重大专项基金(2009ZX02205)项目资助
针对光学系统中光学元件的高精度位移调节和检测问题,提出一种非接触电容位移传感器的线性度标定方法,搭建了一个运动轴、测量轴和传感轴三轴共线的标定平台,从测量原理上消除阿贝误差。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称...
关键词：传感器 标定 线性度 柔度矩阵 
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