半导体薄膜材料

作品数：23被引量：21H指数：3
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新型半导体薄膜材料的研究与进展
《半导体技术》1996年第3期7-11,共5页李玉增 
阐述了新型半导体薄膜材料──金刚石和富勒烯、Ｃ－氮化硼和β－碳化硅以及聚乙炔和聚噻吩等制备技术进展、器件应用概况和未来发展趋势。
关键词：半导体薄膜 金刚石 富勒烯 氮化硼 碳化硅 
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