半导体化学

作品数：11被引量：8H指数：2
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氢离子敏场效应晶体管温度特性的实验研究
《微处理机》1990年第2期45-49,共5页李和太 崔志武 于立新 刘洪 
引言氢离子敏场效应晶体管（HISFET）是一种被用来测量溶液中氢离子浓度（pH 值）的新型半导体化学传感元件。它的结构与普通绝缘栅场效应晶体管类似。栅绝缘膜为二氧化硅（SiO2）和氮化硅（Si3N4）...
关键词：场效应晶体管 金属栅极 子敏 绝缘栅 平面工艺 传感元件 半导体化学 绝缘膜 氮化硅膜 氢离子浓度 
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