薄膜沉积技术

作品数：26被引量：14H指数：2
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：高劲松王彤彤王笑夷韩永昊杨旭更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院吉林大学大连理工大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《安阳工学院学报》《物理学报》《电子工业专用设备》更多>>
相关基金：国家自然科学基金江苏省高校省级重点实验室开放课题中央高校基本科研业务费专项资金陕西省自然科学基金更多>>
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阀金属化合物在高比容铝电解电容器中的研究进展被引量：2
《稀有金属材料与工程》2021年第12期4553-4570,共18页李卓 杜显锋 李响 武晶晶 林白阁 熊礼龙 
国家自然科学基金(51777152);陕西省自然科学基金(2019JLZ-09,2020JM-027);中央高校基本科研业务费(XJJ2018055)。
为了适应近年来电子产品功能化和小型化的发展趋势,铝电解电容器正向着小型化、大容量的方向发展,制备高比容阳极箔的技术是实现这一目标的有效途径之一。本文系统介绍了制备高比容铝电解电容器用阳极箔表面阀金属化合物薄膜的沉积技术...
关键词：高比容 阀金属化合物 铝电解电容器 阳极箔 薄膜沉积技术 
面向平板结构钙钛矿太阳能电池的金属氧化物综述被引量：1
《浙江大学学报（工学版）》2021年第8期1576-1584,共9页肖黎 陈远豪 梁昌兴 姚建曦 
重庆市教育委员会科学技术研究资助项目(KJQN201801123);重庆理工大学科研启动基金资助项目(2019ZD12).
作为平板结构钙钛矿太阳能电池的电荷传输层,金属氧化物薄膜对器件性能有重要影响.系统性概述平板结构钙钛矿太阳能电池对金属氧化物薄膜形貌、电学、光学、化学及热等物理特性要求,并对目前在高效钙钛矿太阳电池制备中最有前景的金属...
关键词：金属氧化物 平板结构钙钛矿太阳能电池 物理特性 电荷传输层 薄膜沉积技术 
山西煤化所利用原子层沉积技术设计制备出新型纳米催化剂
《人工晶体学报》2015年第8期2129-2129,共1页
原子层沉积（atomic layer deposition,ALD）是一种先进的薄膜沉积技术。利用ALD的技术特点和优势,可设计合成新型高效纳米催化剂,并可精确地调控催化剂的表界面结构。中国科学院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室研究员覃勇带领...
关键词：中国科学院山西煤炭化学研究所 薄膜沉积技术 纳米催化剂 原子层沉积 设计合成 利用 国家重点实验室 制备 
山西煤化所用ALD技术制备出新型纳米催化剂
《浙江化工》2015年第8期17-17,共1页
中科院山西煤炭化学研究所煤转化国家重点实验室研究员覃勇带领的研究团队．利用ALD技术设计制备出一种多重限域的Ni基加氢催化剂。与未限域的催化剂相比，多重限域的Ni基催化剂对于肉桂醛以及硝基苯的加氢催化反应的活性、稳定性得到...
关键词：中科院山西煤炭化学研究所 薄膜沉积技术 纳米催化剂 ALD 制备 NI基催化剂 国家重点实验室 加氢催化剂 
美国Sakti3电池公司研发新型固态锂离子电池
《电源技术》2015年第4期651-652,共2页贾旭平 
Sakti3公司成立于2008年，由密西根大学前工程教授Ann Marie Sastry成立。Sakti指梵语的“电力”，3指锂的原子数。Sakti3公司研发的固态锂离子电池的能量密度约为当前锂离子电池的两倍。这种固态电池采用薄膜沉积技术来生产，而薄膜沉...
关键词：锂离子电池 固态电池 研发 薄膜沉积技术 液体电解质 美国 密西根大学 平板显示器 
离线式TCO镀膜玻璃炸裂的原因及对策
《安阳工学院学报》2015年第2期35-37,共3页蒋振伟 薛文鑫 
阐述了采用n AERO辅助气溶胶薄膜沉积技术制备TCO镀膜玻璃时,在TCO玻璃生产线上出现的玻璃连续炸裂的问题,通过分析和多次对加热炉温度曲线、气浮台高度、镀膜腔室尾气排放量、加热炉与镀膜腔室间隙等工艺及设备调整,对可能存在的原因...
关键词：nAERO辅助气溶胶薄膜沉积技术 离线式TCO镀膜玻璃 玻璃炸裂 冷风 
美国西南研究院为DARPA研发新型薄膜沉积技术
《战术导弹技术》2013年第5期30-30,共1页郭朝邦 毕世龙 
据Nanowerk网站7月15日报道，DAPRA授予了美国西南研究院（SwRI）一份价值150万美元，为期_二年的合同，旨在研发新型薄膜沉积技术。该项目隶属于DAPRA的材料合成局部控制计划（Local Control of Materials Synthesis，LoCo）。LoCo计...
关键词：薄膜沉积技术 美国西南研究院 DARPA 研发 表面迁移率 控制计划 材料合成 材料表面 
Optimization of Ionic Liquid Film Deposition by Spin and Dip Coating Techniques被引量：1
《材料科学与工程（中英文B版）》2012年第8期437-441,共5页Joao Pedro Oliveira Cesar Tonicha Laia Luis Cobra Branco 
关键词：薄膜沉积技术 表征技术 离子液体 浸涂 优化 自旋 材料科学 实验条件 
远红外线即时监控原子层薄膜沉积技术
《儀科中心簡訊》游智傑 
真空离子镀膜经验讲习班公告
《真空》2010年第6期48-48,共1页
讲课内容：真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。（2）现场操作实习：参观三束材...
关键词：离子镀膜机 真空 讲习班 国家重点实验室 公告 薄膜沉积技术 材料表面改性 工艺制订 
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