薄膜电阻器

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军用内调式四象限精密乘法器电路的设计
《电子元器件应用》2004年第11期4-6,共3页钟咏梅 范振国 阎汉民 
介绍内调式四象限精密乘法器电路的线路设计、版图设计、工艺设计及关键技术。着重介绍线路设计和版图设计的特点及四象限乘法器的功能。
关键词：四象限乘法 激光微调 薄膜电阻器 设计 
用溅射法制备混合集成电路中的Cr·SiO薄膜电阻器
《电子元器件应用》2002年第8期46-47,58,共3页王军峰 殷小莉 陈福山 
介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
关键词：Ci·SiO薄膜电阻器 混合集成电路 溅射 TCR 
用双源蒸发台制作混合电路用的Cr·SiO薄膜电阻器
《电子元器件应用》2001年第10期36-38,共3页赵亚民 
本文简要介绍使用钟罩型真空镀膜机和双源蒸发工艺制作高质量Cr·SiO薄膜电阻器的探索与实践,结果表明,这是一种基于原有设备的具有工艺简单稳定、流程短而效率较高的实用新工艺,完全可以替代原有工艺而投入生产。
关键词：双源蒸发台 薄膜电阻器 混合电路 铬 氧化硅 
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