MWPCVD

作品数：20被引量：40H指数：3
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MWPCVD制备金刚石膜装置的大功率稳定运行的研究
《高技术通讯》2001年第7期88-90,共3页舒兴胜 邬钦崇 
863计划资助项目 (863-715- 002-0020)
介绍了水冷反应室式MWPCVD制备金刚石膜装置的结构和工作原理 ,着重讨论了该装置长时间大功率稳定运行的措施。该装置在微波输入功率为 3 0kW时能长时间稳定运行。
关键词：MWPCVD装置 稳定运行 微波功率 金刚石膜 薄膜制备装置 结构 
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