MWPCVD

作品数：20被引量：40H指数：3
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水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜装置研制被引量：1
《真空与低温》2001年第1期15-17,20,共4页舒兴胜 邬钦崇 
国家 863计划资助项目!项目号: 715- 002- 0020
微波等离子体化学气相沉积 (MWPCVD)是制备金刚石膜的一种重要方法。为了获得金刚石膜的高速率大面积沉积，研制成功了水冷反应室式 MWPCVD制备金刚石膜的装置。装置在微波输入功率为 3.0 kW时能长时间稳定运行，并在硅衬底上沉积出金...
关键词：MWPCVD装置 稳定运行 金刚石膜 制备装置 微波等离子体化学气相沉积 
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