压电微马达

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MEMS器件中的铁电材料
《微纳电子技术》2004年第3期25-28,共4页郭冬云 王耘波 付承菊 于军 
国家自然科学基金资助项目(60171012);湖北省自然科学基金资助项目(2003ABA061)
铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值。本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况。
关键词：MEMS 铁电材料 微电子机械系统 应用 压电微马达 微型传感器 
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