压电微马达

作品数：15被引量：35H指数：3
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压电微马达研制被引量：1
《仪表技术与传感器》1998年第6期11-12,10,共3页卢建国 沈德新 张健 张保安 王渭源 
国家攀登计划"微电子机械系统"资助项目
本文采用微机械加工研制压电微马达，用硅平面工艺首次制作了硅转子并装配成直径Φ１．８ｍｍ压电微马达，得到转速为３０～５０ｒ／ｍｉｎ。同时对转子重量、形状、激励频率与转速关系进行研究。
关键词：压电电机 旋转波 微马达 微机械 微电机 
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