压力微传感器

作品数：13被引量：30H指数：4
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相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
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微机电系统磁流体压力微传感器被引量：1
《机电工程》2007年第4期75-77,共3页徐军民 王瑞金 杨娅君 
由于磁流体具有磁性，如果在磁场作用下力的平衡发生变化，会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中，可以获得1～1000mbar数量级的压力值。在试验装置中，用压阻式压力传感器得到了40mbar的压力。试验结果表明，磁流体和...
关键词：微机电系统 磁流体 微致动器 磁压 微压力传感器 
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