云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 压力微传感器

压力微传感器: 作品数：13被引量：30H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>; 相关作者：周浩敏邢维巍李明明樊尚春李海娟更多>>; 相关机构：北京航空航天大学厦门大学浙江科技学院上海交通大学更多>>; 相关期刊：《北京航空航天大学学报》《传感技术学报》《仪表技术》《微细加工技术》更多>>; 相关基金：中国航空科学基金上海市科学技术发展基金国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金更多>>

检索结果分析

选择条件：

共条记录，以下是1-1

全选清除导出

视图：

排序：

压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：4: 《微细加工技术》2003年第2期69-75,共7页凌行莘海维张志明孙方宏戴永兵沈荷生; 国家863计划新材料领域纳米专项资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项资助项目(0159nm033);上海交通大学教育部薄膜与微细技术重点实验室资助项目; 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到...; 关键词：压阻式金刚石薄膜压力微传感器热丝CVD法掩模选择性生长法制作方法