PZT厚膜

作品数：32被引量：41H指数：3
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相关期刊：《硅酸盐学报》《辐射研究与辐射工艺学报》《应用声学》《压电与声光》更多>>
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用于压电悬臂梁的PZT厚膜的溶胶-凝胶制备及表征被引量：2
《哈尔滨工业大学学报》2007年第9期1499-1502,共4页刘红梅 赵全亮 段中夏 邱成军 曹茂盛 
研究了一种用于制备硅基压电悬臂梁的PZT厚膜溶胶-凝胶工艺.该工艺通过采用交替旋涂法,将PZT溶胶与PZT纳米粉混合形成浆料,再和澄清PZT溶胶交替涂覆在Au/Cr/SiO2/Si的硅基悬臂梁结构上,当达到所需的厚度后再进行热处理.实验证明,热处理...
关键词：锆钛酸铅 厚膜 溶胶-凝胶 悬臂梁 
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