PZT厚膜

作品数:32被引量:41H指数:3
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相关领域:电子电信化学工程更多>>
相关作者:褚家如王大志许晓慧彭强祥冯艳更多>>
相关机构:中国科学技术大学大连理工大学上海交通大学中国科学院更多>>
相关期刊:《硅酸盐学报》《辐射研究与辐射工艺学报》《应用声学》《压电与声光》更多>>
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微型PZT厚膜超声电机定子的制备及分析
《机电工程技术》2022年第12期14-17,共4页宗浩然 王大志 赵奎鹏 袁钰恒 梁世文 杨勇 
国家自然科学基金面上项目(编号:51975104,62074138);大连理工大学宁波研究院项目。
基于电流体喷印工艺制备了微型PZT厚膜超声电机定子。搭建了电流体喷印实验平台,利用电流体喷印工艺,以锆钛酸铅(PZT)复合悬浮液为喷印材料,在钛合金弹性体上沉积了厚度为50μm的环形PZT厚膜并在700℃下进行高温退火结晶,利用磁控溅射...
关键词:超声电机定子 PZT厚膜 电流体喷印 
微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究被引量:2
《机电工程技术》2022年第1期9-11,57,共4页袁钰恒 赵奎鹏 宗浩然 王大志 
采用ANSYS有限元软件建立了微型压电厚膜执行器的多物理场耦合仿真模型,求解了微型压电厚膜执行器B(0,3)模态的共振频率为80673 Hz,在15 V交流电压下的振幅为210 nm。同时通过磁控溅射、电流体喷射打印工艺,制备了外径为4.5 mm的环形PZ...
关键词:压电执行器 PZT厚膜 ANSYS仿真 电流体喷射打印 
曲面压电厚膜电流体喷印制备研究
《机电工程技术》2020年第9期45-46,200,共3页姜重阳 赵奎鹏 王柱 袁钰恒 宗浩然 王大志 
压电厚膜作为功能部件被广泛应用在传感、执行器件中,主要为平面膜结构。但在医学中的聚焦超声换能器、海洋中的水听器等,需要应用曲面压电陶瓷厚膜以实现能量聚焦、信号放大。基于电流体喷印技术研究曲面压电厚膜的制备工艺,设计搭建...
关键词:电流体 喷印 PZT厚膜 压电 
不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试被引量:2
《机电工程技术》2019年第7期32-34,共3页周鹏 王大志 石鹏 赵奎鹏 姜重阳 王柱 
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081);精密测试及仪器国家重点实验室开放基金资助项目(pilab1804);中央高校基本科研业务费资助项目(DUT18LAB17)
制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的导电性,可以作微悬臂梁传感器的下电极,采用模板辅助电雾化沉积技术在不锈钢微悬臂梁基底上制备了厚度为20...
关键词:微悬臂梁传感器 PZT厚膜 电雾化沉积 模板辅助 不锈钢 
PZT厚膜的电雾化沉积与溶胶渗透研究
《机电工程技术》2018年第9期12-15,共4页石鹏 王大志 周鹏 李学木 慈元达 王骁 梁军生 
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081)
制备锆钛酸铅(PZT)悬浮液,采用电雾化沉积(EHDA)技术,在硅衬底上沉积PZT厚膜,研究溶胶渗透工艺对电雾化沉积PZT厚膜的致密性与电学性能的影响。结果表明:经过2C+1S溶胶渗透工艺处理的PZT厚膜致密性与电学性能得到明显提升,在50 kHz测试...
关键词:PZT 厚膜 电雾化沉积 溶胶渗透 
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