压阻检测

作品数：13被引量：31H指数：3
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相关机构：中国科学院西安交通大学合肥工业大学中国科学院大学更多>>
相关期刊：《红外与毫米波学报》《电子技术应用》《测试技术学报》《压电与声光》更多>>
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静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究被引量：3
《测试技术学报》2010年第4期334-338,共5页王瑞荣 杜康 石云波 刘俊 
国家自然科学基金资助项目(50675212)
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器...
关键词：静电驱动 压阻检测 结构设计 微机械陀螺 加工工艺 
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