压阻式压力传感器

作品数:187被引量:755H指数:14
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一种压阻式压力传感器的温度补偿方法被引量:17
《仪表技术与传感器》2018年第6期1-4,10,共5页李冀 胡国清 周永宏 邹崇 吴翩卉 
国家科技重大专项项目(2015ZX03003010)
针对压阻式压力传感器的温度补偿问题,提出一种将样条插值与最小二乘拟合相结合的补偿算法,并结合传感器标定实验数据进行仿真试验。结果表明该方法相比曲面拟合方法、BP神经网络和RBF神经网络,补偿最大相对误差和平均补偿时间分别为0.1...
关键词:硅压阻式压力传感器 温度补偿 样条插值 最小二乘拟合 
适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器被引量:34
《光学精密工程》2012年第3期550-555,共6页伞海生 宋子军 王翔 赵燕立 余煜玺 
国家自然科学基金资助项目(No.51075344;No.51175444)
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介...
关键词:微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性 
压阻式压力传感器中的信号调整被引量:4
《仪表技术与传感器》2009年第B11期360-362,共3页滕建财 陈聪鹏 郭航 
文中介绍了Maxim公司的信号调整集成电路芯片MAX1450的引脚含义,功能特点及工作原理。设计和制作了外围补偿电路,对已有的微型压阻式压力传感器进行测试,分析它的信号特性与温度特性,采用了MAX1450信号调理器将微型压阻式传感器的进行...
关键词:压阻式压力传感器 MAX1450 ICL7107 
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