SDB

作品数：169被引量：194H指数：7
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硅直接键合(SDB)技术在新型电力电子器件应用中的新进展被引量：3
《电子器件》2005年第4期945-948,957,共5页王彩琳 高勇 张新 
陕西省教育厅专项科研计划项目;其编号为04JK245
综述了硅直接键合(SDB)技术在绝缘栅双极晶体管(IGBT)、静电感应晶闸管(SITH)及MOS控制可关断晶闸管(MTO)等器件中的新应用,说明了SDB技术在新型电力电子器件应用中的新方法和新思路。在此基础上,提出了用SDB技术制作集成门极换流晶闸管...
关键词：硅直接键合 电力电子器件 集成门极换流晶闸管 集成门极双晶体管 MOS控制可关断晶闸管 
SOI/SDBCOMS环形振荡器的研究
《电子器件》1997年第4期46-49,共4页詹娟 
本文主要研究了硅片直接键合技术制备ＳＯＩ材料，并在此材料上采用全离子注入硅栅工艺制造了１μｍ沟道ＣＭＯＳ环形振荡器。由于ＳＯＩ。ＳＤＢ中的硅膜保持着本体硅的性质，故所得陪管的特性比较好，（迁移率：ＮＭＯＳ为６８０ｃｍ...
关键词：硅 SDB CMOS 环形 振荡器 VLSI 
用于制造传感器、执行器和微结构的硅直接键合(SDB)工艺
《电子器件》1990年第2期45-46,共2页黄庆安 
硅片直接键合(SDB),即硅—硅键合,是一种把两个硅片直接键合在一起的一种工艺,它不需使用如聚合物或熔融玻璃的中间粘结剂,也不需用如在玻璃一硅阳极键合中的外加电场.这种工艺已经在微电路研制中用来制造SOI衬底同样在制造硅传感器、...
关键词：传感器 执行器 微结构 硅 直接键合 
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