SI/SIGE

作品数:59被引量:59H指数:4
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相关机构:北京工业大学中国科学院厦门大学西安交通大学更多>>
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Characterization of Si/SiGe/Si Deposited on SIMOX SOI by Synchrotron Radiation X-Ray Double-crystal Topography
《Journal of Rare Earths》2004年第z2期5-7,共3页Ma Tongda Tu Hailing Hu Guangyong Wang Jing 
The synchrotron X-ray double-crystal topography was employed to investigate the structure of Si/SiGe/Si deposited on SIMOX SOI. Rocking curves with three diffraction peaks were acquired before and after 180° rotation...
关键词:SYNCHROTRON radiation double-crystal TOPOGRAPHY TILT STRAINED relaxation 
Photoreflectance Spectroscopy for Study of Si/SiGe/Si Heterostructure
《Journal of Rare Earths》2004年第z2期17-20,共4页Liu Zhihong Chen Changchun Lin Huiwang Xiong Xiaoyi Dou Weizhi Tsien Pei-Hsin 
UHVCVD-grown Si/Si1- xGex/Si heterostructure was investigated by Photoreflectance spectroscopy (PR). The principle of PR used in semiconductor film was thoroughly described. According to the E1 transition energy in th...
关键词:SIGE/SI photoreflectance UHVCVD 
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