SIO2膜

作品数：61被引量：106H指数：5
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Sr掺杂SiO2膜的制备及其脱盐性能研究被引量：1
《江西师范大学学报（自然科学版）》2020年第4期411-416,共6页邵琦 张华宇 袁嫒 任海婷 张小亮 
国家自然科学基金(21566012);江西省教育厅科学技术研究课题(GJJ170166)资助项目.
以正硅酸四乙酯(TEOS)为硅烷前驱体,以氯化锶(SrCl2)为Sr源,采用溶胶-凝胶法制备了Sr掺杂的SiO2膜.通过系列表征结果证实:在水解缩合反应过程中Sr被掺杂到SiO2骨架中,形成了水热稳定的Si—O—Sr键,明显地改变了膜的表面形貌、微观结构...
关键词：SIO2膜 SR 掺杂 渗透汽化脱盐 稳定性 
APCVD制备二氧化硅薄膜工艺研究被引量：1
《电子工艺技术》2019年第6期345-347,355,共4页高丹 康洪亮 徐强 佟丽英 
背封技术可以有效防止硅外延过程中造成的自掺杂现象。讨论了APCVD制备二氧化硅膜工艺中膜厚、淀积温度和O2与SiH4比例等关系,分析了膜厚均匀性的影响因素和膜表面质量,提出了SiO2膜淀积的工艺条件及背封前清洗方法。
关键词：背封 APCVD SIO2膜 
Pd掺杂量对有机无机杂化SiO2膜H2/CO2分离性能和水热稳定性能的影响被引量：1
《无机材料学报》2018年第12期1316-1322,共7页张恒飞 刘为 雷姣姣 宋华庭 漆虹 
国家自然科学基金(21490581); 中国石油化工股份有限公司资助项目(317008-6); 广西创新驱动发展专项资金(桂科 AA17204092).
以1,2-二(三乙氧基硅基)乙烷(BTESE)为前驱体、PdCl_2为钯源,制备Pd掺杂有机无机杂化SiO_2(POS)溶胶,涂膜后在水蒸气氛围中煅烧,制备得到POS膜。采用X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、N_2吸附-脱附和透射电子显微镜(TEM)对PO...
关键词：有机无机杂化SiO2膜 Pd掺杂 气体分离 水热稳定性 
基于微椭球空气腔的光纤压力传感器的设计被引量：1
《半导体光电》2017年第6期798-801,805,共5页王婷婷 李志鹏 沈娟 
国家自然科学基金项目(61405094);江苏高校优势学科Ⅱ期建设工程项目
设计了一种新型的在线光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器的F-P腔为微椭球空气腔,由光纤熔接机以特定的熔接参数熔接单模光纤和实芯光子晶体光纤而成。该传感器基于F-P干涉原理测量压力,全石英结构,制作工艺简单,温度串扰小。分...
关键词：光纤传感器 法布里-珀罗干涉 压力传感 SIO2膜 
等离子喷涂制备C/C复合材料SiC涂层的驻点烧蚀性能
《表面技术》2017年第7期45-50,共6页孙乐 王成 孟广慧 宗彦旭 吴坤尧 丁旭 
西安航空学院校级科研基金资助项目(2015KY1105);国家级大学生创新创业训练计划项目(201611736001)~~
目的在C/C复合材料表面制备SiC涂层,提高C/C复合材料抗烧蚀性能。方法采用真空等离子喷涂技术在C/C复合材料表面制备纯Si涂层,在惰性气氛保护下对涂层高温热处理,纯Si涂层与C元素在高温下反应,原位生成SiC涂层。利用电弧加热器在不同烧...
关键词：真空等离子喷涂 SIC涂层 驻点烧蚀 SIO2膜 主动氧化 C/C复合材料 
模板法研制有序介孔SiO_2膜及其性能表征的研究
《化工设计通讯》2016年第7期114-114,共1页许秀玲 
采用模板法研制了有序介孔SiO2膜，探讨了其性能表征。在研究中采用了正硅酸乙酯（TEOS）与十六烷基三甲基氯化铵（CTAC），在致密基底上，研制了有序介孔SiO2膜，观察了CTAC/TEOS摩尔比对SiO2膜孔径及其介孔有序性的影响，实验结果证...
关键词：模板法 有序介孔 SIO2膜 性能表征 
溶胶-凝胶-模板法制备疏水SiO2膜及CH4/CO2分离性能研究被引量：2
《化工新型材料》2016年第6期148-151,共4页张志刚 王鑫 刘冰心 汪星星 李文秀 
辽宁省自然科学基金项目(2014020140);辽宁省自然科学基金项目(2013020080)
以γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(A-174)代替部分正硅酸乙酯(TEOS)为前驱体,十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为有机模板剂,通过溶胶-凝胶-模板法制备疏水性的SiO_2膜。采用BET、DTG、IR、SEM及接触角测试仪等对膜材料进行表征,并进行了...
关键词：SIO2膜 疏水性 模板剂 气体分离 稳定性 
聚合溶胶粒径对铌掺杂的有机无机杂化SiO_2膜气体分离性能的影响被引量：1
《膜科学与技术》2016年第1期23-29,共7页林丹丹 宋华庭 朱瓌之 陈加伟 漆虹 
国家自然科学基金(21276123;21490581);科技部"863"项目(2012AA03A606);江苏省"六大人才高峰"项目;江苏高校优势学科建设工程资助项目
以1,2-二(三乙氧基硅基)乙烷(BTESE)和五正丁氧基铌为前驱体,采用聚合溶胶路线,制备出3种粒径分布(平均粒径为5,8,11nm)的铌掺杂的有机无机杂化SiO2(Nb-Hybrid SiO2)聚合溶胶.通过TG/DSC、XRD、CO2吸附和单组分气体渗透实验等手段,详细...
关键词：铌掺杂有机无机杂化SiO2膜 溶胶-凝胶法 溶胶粒径 气体分离 
大气常压等离子射流清洗溶胶-凝胶SiO_2膜表面油脂污染物被引量：6
《强激光与粒子束》2015年第11期112-117,共6页刘昊 苗心向 杨科 吕海兵 邹睿 周国瑞 程晓峰 严鸿维 袁晓东 贾宝申 
国家自然科学基金项目(51535003)
采用大气常压等离子射流技术对溶胶-凝胶SiO2膜表面的油脂污染物进行清洗。利用分光光度计、扫描电子显微镜、红外光谱仪对溶胶-凝胶SiO2膜透过率、表面形貌、化学结构进行表征,并分析清洗前后溶胶-凝胶SiO2膜的激光损伤阈值变化。损伤...
关键词：大气常压等离子射流 溶胶-凝胶SiO2膜 高功率激光真空系统 油脂污染物 激光损伤阈值 
十七氟癸基修饰的疏水二氧化硅膜材料的制备及氢气分离性能
《膜科学与技术》2014年第6期22-27,共6页丁元利 韦奇 刘相革 李群艳 聂祚仁 
国家自然科学基金资助项目(21171014;50502002);国家"863"计划课题(2009AA03Z213);北京市教委科技计划重点项目资助(KZ201410005006)
通过溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯(TEOS)和十七氟癸基三乙氧基硅烷(PFDTES)为前驱体,在酸性和洁净室条件下制备了十七氟癸基修饰的SiO2膜材料,分别通过动态光散射技术、接触角测量、红外光谱以及热重分析等测试手段对溶胶的粒径分布及膜材...
关键词：十七氟癸基 溶胶-凝胶法 疏水SiO2膜 氢气分离 
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