亚表面损伤层

作品数：13被引量：81H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
相关作者：郑红军王卓戴一帆卜俊鹏刘华松更多>>
相关机构：中国科学院中国工程物理研究院国防科学技术大学天津津航技术物理研究所更多>>
相关期刊：《航空精密制造技术》《压电与声光》《电子工业专用设备》《人工晶体学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=压电与声光x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
压电石英亚表面损伤层分析
《压电与声光》2008年第2期246-247,共2页李世岚 包生祥 马丽丽 彭晶 杜支波 周勋 
国防科工委共性基金资助项目(G030103010404GK0002)
压电石英基片在加工过程中会带来表面/亚表面损伤,这种损伤会直接影响电子器件的性能、稳定性及寿命。该文采用扫描电镜(SEM)观测与X-射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离深度相结合的方法,定量分析了36°AT切压电石英基片亚表面损伤...
关键词：压电石英 化学机械抛光 亚表面损伤 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部