亚表面损伤层

作品数：13被引量：81H指数：5
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相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
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相关机构：中国科学院中国工程物理研究院国防科学技术大学天津津航技术物理研究所更多>>
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β-Ga_(2)O_(3)晶体金刚石线锯切割的表面质量研究被引量：1
《人工晶体学报》2022年第12期2040-2047,2062,共9页李晖 高鹏程 程红娟 王英民 高飞 张弛 王磊 
本文探究了往复式金刚石线锯的工艺参数对β-Ga_(2)O_(3)单晶沿(001)晶面切片时表面质量的影响,从压痕断裂力学理论角度探究了金刚石线锯切割β-Ga_(2)O_(3)单晶过程中磨粒行为和材料去除机理。实验从各向异性角度分析了切割方向对(001...
关键词：β-Ga_(2)O_(3)晶片 金刚石线锯 切割方向 亚表面损伤层 表面粗糙度 
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