SU-8胶

作品数：54被引量：207H指数：8
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SU-8胶曝光衍射效应的模拟及丙三醇补偿方法
《Journal of Semiconductors》2007年第12期2011-2017,共7页朱真 黄庆安 李伟华 周再发 冯明 
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519)~~
基于SU-8胶的UV-LIGA技术是MEMS中制备高深宽比结构的一种重要方法,但由于衍射效应会使结构的侧壁不再垂直.根据菲涅耳衍射模型,考虑了丙三醇/SU-8界面的反射和折射现象,模拟了丙三醇填充在掩膜版和光刻胶之间时的刻蚀图形.计算结果与...
关键词：SU-8胶 菲涅耳衍射 丙三醇 
SU-8胶深紫外光刻模拟被引量：5
《Journal of Semiconductors》2007年第9期1465-1470,共6页冯明 黄庆安 李伟华 周再发 朱真 
国家自然科学基金资助项目(批准号:50325519)~~
综合了SU-8胶光刻过程中衍射、反射、折射、吸收率随光刻胶深度的变化及交联显影等各种效应,考虑了折射及吸收系数随时间的变化,建立了SU-8化学放大胶的光刻模型.模拟结果显示,该模型比现有的模拟方法结果更精确,与实验结果符合较好,可...
关键词：SU-8胶 光刻模拟 显影轮廓 
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