SU-8胶

作品数：54被引量：207H指数：8
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基于SU-8胶的微针执行器的研制被引量：1
《仪器仪表学报》2004年第z3期104-106,共3页秦宁 赵湛 张博军 陈绍凤 夏善红 
863计划资助项目(2002AA404230)。
利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制...
关键词：SI-8胶 微针执行器 MEMS 
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