TAN

作品数：711被引量：1336H指数：15
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新型碱性抛光液对300 mm TaN镀膜片CMP效果评估
《半导体技术》2017年第11期844-849,共6页张文倩 刘玉岭 王辰伟 季军 杜义琛 韩丽楠 
国家科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007);河北省青年自然科学基金资助项目(F2015202267);河北省研究生创新资助项目(220056);天津市自然科学基金资助项目(16JCYBJC16100);河北工业大学优秀青年科技创新基金资助项目(2015007)
TaN由于其良好的性能广泛用于布线铜与介质之间的阻挡层和黏附层。在对直径为300 mm的TaN镀膜片进行化学机械抛光(CMP)后,对比并分析了两种碱性抛光液对TaN去除速率、片内非均匀性、去除速率选择性和表面粗糙度的影响。结果表明,经过自...
关键词：化学机械抛光(CMP) 去除速率 表面粗糙度 氮化钽 碱性抛光液 
基于TAN贝叶斯网络分类器的测井岩性预测被引量：4
《微计算机信息》2006年第09S期284-286,共3页左晓娜 刘冀伟 王志良 
国家科技部十五攻关项目2001BA605A-08-05
贝叶斯网络是一种建立在概率和统计理论基础上的数据分析和辅助决策工具,利用其构造出的树扩展朴素贝叶斯网络分类器是目前最优秀的分类器之一。针对石油勘探中测井数据的特殊性,利用贝叶斯网络预测出其对应的岩性,并介绍了使用此方法...
关键词：贝叶斯网络分类器 测井岩性预测 树扩展朴素贝叶斯分类器 模式识别 
一种限定性的双层贝叶斯分类模型被引量：44
《软件学报》2004年第2期193-199,共7页石洪波 王志海 黄厚宽 励晓健 
国家"十五"重点科技攻关项目No.2002BA407B~~
朴素贝叶斯分类模型是一种简单而有效的分类方法,但它的属性独立性假设使其无法表达属性变量间存在的依赖关系,影响了它的分类性能.通过分析贝叶斯分类模型的分类原则以及贝叶斯定理的变异形式,提出了一种基于贝叶斯定理的新的分类模型D...
关键词：朴素贝叶斯 TAN(tree AUGMENTED NAIVE Bayes) 叶斯定理 依赖关系 
基于Boosting的TAN组合分类器被引量：14
《计算机研究与发展》2004年第2期340-345,共6页石洪波 黄厚宽 王志海 
国家"十五"科技攻关计划重点基金项目 ( 2 0 0 2BA40 7B)
Boosting是一种有效的分类器组合方法 ,它能够提高不稳定学习算法的分类性能 ,但对稳定的学习算法效果不明显 TAN(tree augmentedna veBayes)是一种树状结构的贝叶斯网络 ,标准的TAN学习算法生成的TAN分类器是稳定的 ,用Boosting难以提...
关键词：BOOSTING 组合方法 TAN 依赖关系 
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