亚微米级

作品数：310被引量：699H指数：12
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相关领域：化学工程金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：武高辉梁淑华邹军涛王慧远刘秀梅更多>>
相关机构：中国科学院哈尔滨工业大学上海交通大学大连理工大学更多>>
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基于法布里-珀罗标准具的亚微米级位移测量方法被引量：5
《中国激光》2019年第12期155-163,共9页沈小燕 蓝旭辉 朱鹤年 孙志鹏 禹静 
国家自然科学基金面上项目(51875543);国家自然科学基金青年基金(61605193)
受限于面阵像元尺寸和细分技术,利用面阵器件进行长度测量难以达到亚微米级。提出了一种基于法布里-珀罗(F-P)标准具多光束干涉成像原理的二维亚微米级位移测量方法,通过计算同心干涉圆环圆心坐标变化量得到焦平面内的二维微位移。采用...
关键词：测量 干涉测量法 微位移 法布里-珀罗标准具 数理统计 
采用化学腐蚀辅助皮秒激光成丝技术获得蓝宝石亚微米级精细切面的研究被引量：1
《中国激光》2017年第10期59-66,共8页燕天阳 季凌飞 Li Lin Amina 王文豪 林真源 杨强 
国家自然科学基金(51575013;51275011)
以波长为1064nm的超短脉冲激光(脉宽为10ps)作为成丝激发源,引导自聚焦效应在蓝宝石内部产生了突破瑞利长度限制的成丝线迹。利用成丝区因相变而造成的与材料其他区域物相的不同,辅以化学腐蚀的方法,获得了切面粗糙度为800nm的蓝宝石切...
关键词：激光技术 超快激光 成丝效应 蓝宝石 化学腐蚀 高精度切割 
大行程亚微米级精密定位系统的研究
《中国激光》2012年第B06期311-316,共6页张金龙 廉美琳 徐慧 雷华欢 
国家863计划（2005AA303610）和江苏省自然科学基金（2009406）资助课题.
针对荫罩式等离子体显示器屏板定位的特点，研究了基于计算机视觉的图像定位和基于衍射光栅的叠栅定位两种方法，利用这两种定位方法，建立了精密定位的复合控制系统，其中图像定位作为粗定位，光栅定位作为精定位。通过粗定位与精定位...
关键词：测量 精密定位 定位精度 复合控制 计算机视觉 衍射光栅 
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