TIALN

作品数：229被引量：721H指数：15
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划痕法测定TiAlN涂层结合强度的研究被引量：18
《表面技术》2013年第5期107-111,共5页黄珂 杨伏良 陈力学 马凯 郭磊 
国家"863"高新技术研究资助项目(2011AA030101);湖南省自然科学基金项目(12JJ3038)
采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了TiAlN涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度。分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得TiAlN涂层的结合强度达到HF3。划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测...
关键词：磁控溅射 TIALN涂层 结合强度 
TiAlN涂层刀具的抗高温特性研究被引量：7
《制造技术与机床》2010年第7期94-96,共3页刘爱华 邓建新 颜培 刘文清 
国家高技术研究发展计划项目(2009AA044303)"山东省杰出青年基金"资助;泰山学者专项基金资助
对生产中使用较多的多弧离子镀Ti0.45Al0.55N涂层进行了高温特性研究。采用SEM、EDS、XRD等方法考察了高温后的涂层表面并分析了涂层的失效机理,最后考察了温度对硬度的影响。结果表明:TiAlN涂层的最高抗氧化温度可达800℃;氧化及涂层...
关键词：TIALN 涂层刀具 高温特性 氧化 硬度 
中频磁控溅射沉积DLC/TiAlN复合薄膜的结构与性能研究被引量：4
《真空科学与技术学报》2008年第5期424-428,共5页张以忱 巴德纯 于大洋 马胜歌 
国家863计划资助项目(No.2001AA338010)
采用中频非平衡磁控溅射沉积工艺,并施加霍尔离子源辅助沉积,在高速钢W18Cr4V及单晶硅基体上制备了梯度过渡的DLC/TiAlN复合薄膜。利用扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、显微硬度计、摩擦磨损仪等分析检测仪器对DLC/TiAlN复合薄...
关键词：TIALN薄膜 DLC薄膜 非平衡磁控溅射 中频溅射 等离子辅助沉积 
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