ZNO压电薄膜

作品数：20被引量：43H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：乔东海郝震宏汪承灏汤亮崔岩更多>>
相关机构：中国科学院电子科技大学北京航空航天大学四川压电与声光技术研究所更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《应用声学》更多>>
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基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波器件被引量：16
《光学精密工程》2014年第2期346-350,共5页周剑 何兴理 金浩 王德苗 骆季奎 
浙江省教育厅资助项目(No.Y200805433)
提出并制备了基于聚酰亚胺柔性衬底的声表面波(SAW)器件。在柔性聚酰亚胺衬底上低温反应磁控溅射沉积了ZnO压电薄膜;采用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,原子力显微镜等设备对ZnO薄膜进行了检测,结果表明:ZnO薄膜晶粒呈柱状生长并且(002)...
关键词：柔性衬底 ZNO薄膜 压电薄膜 声表面波器件 
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