ANTARES

作品数：30被引量：22H指数：3
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FSI国际90nm技术节点ANTARES~超凝态过冷动力学技术继续保持全球领先势头
《集成电路应用》2005年第8期28-28,共1页
FSI国际有限公司近日宣布：在2005财年第三季度中，来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段（BEOL）缺陷去除的ANTARES系统，随着客户将90nm器件技...
关键词：集成电路 栅结构 超凝态过冷动力学清洗系统 ANTARES FSI国际有限公司 
欧洲IC制造商订购多套ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统
《集成电路应用》2005年第1期25-25,共1页
FsI国际有限公司近日宣布：一家领先的欧洲集成电路制造商在现场评估项目成功地验证了缺陷排除之后，已经购买多套ANTARESCX超凝态过冷动力学清洗系统。这些系统将用于先进器件平面结构或元件结构的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。...
关键词：欧洲IC制造商 ANTARES 超凝态过冷动力学清洗系统 功能 
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