CMP工艺

作品数:32被引量:96H指数:6
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相关领域:电子电信更多>>
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相关机构:河北工业大学中国科学院微电子研究所无锡华润上华科技有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊:《半导体技术》《电子元件与材料》《半导体信息》《电子工业专用设备》更多>>
相关基金:国家自然科学基金天津市自然科学基金国家科技重大专项河北省自然科学基金更多>>
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