CMP工艺

作品数：32被引量：96H指数：6
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：陈岚徐勤志刘玉岭孙艳牛新环更多>>
相关机构：河北工业大学中国科学院微电子研究所无锡华润上华科技有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《半导体技术》《电子元件与材料》《半导体信息》《电子工业专用设备》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164197被引量：8349380H指数：432
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
天津市自然科学基金
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作品数：23129被引量：110944H指数：62
相关主题：数值模拟 神经网络 性能研究 复合材料 小鼠
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 电子电信 化学工程
河北省自然科学基金
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作品数：44241被引量：206181H指数：77
相关主题：数值模拟 故障诊断 力学性能 小麦 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 农业科学 电气工程
国家科技重大专项
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作品数：155256被引量：844641H指数：182
相关主题：数值模拟 鄂尔多斯盆地 影响因素 煤层气 页岩气
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
国家中长期科技发展规划重大专项
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作品数：257被引量：1149H指数：19
相关主题：CMP 化学机械抛光 嫦娥 去除速率 化学机械平坦化
相关领域：航空宇航科学技术 电子电信 自动化与计算机技术 金属学及工艺 天文地球
国家自然科学基金(10676008)
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作品数：42被引量：142H指数：7
相关主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 粗糙度 硬盘基板
相关领域：电子电信 一般工业技术 金属学及工艺 化学工程 电气工程
国家自然科学基金(51175228)
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作品数：28被引量：63H指数：5
相关主题：化学机械抛光 雾化 CMP 抛光 抛光液
相关领域：金属学及工艺 电子电信 机械工程 化学工程 理学
河北省教育厅科研基金(2011128)
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作品数：13被引量：36H指数：4
相关主题：磨料 CMP 化学机械抛光 去除速率 碱性抛光液
相关领域：电子电信 金属学及工艺 一般工业技术
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1396218H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
河北省教育厅科学技术研究计划
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作品数：1632被引量：6246H指数：24
相关主题：高校 大学生 数值模拟 稳定性 京津冀
相关领域：理学 自动化与计算机技术 文化科学 经济管理 医药卫生
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