CMP工艺

作品数：32被引量：96H指数：6
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：陈岚徐勤志刘玉岭孙艳牛新环更多>>
相关机构：河北工业大学中国科学院微电子研究所无锡华润上华科技有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
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《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《集成电路应用》
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作品数：16962被引量：14179H指数：18
issn：1674-2583cn：31-1325/TN
主办单位：上海贝岭股份有限公司
发文主题：集成电路 大数据 半导体 控制技术 技术应用
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 经济管理 文化科学
《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《润滑与密封》
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作品数：10724被引量：27133H指数：36
issn：0254-0150cn：44-1260/TH
主办单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院有限公司
发文主题：摩擦学 润滑 密封 摩擦学性能 润滑油
发文领域：机械工程 一般工业技术 金属学及工艺 石油与天然气工程 化学工程
《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《微电子学》
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作品数：5533被引量：8861H指数：20
issn：1004-3365cn：50-1090/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第二十四研究所
发文主题：CMOS 集成电路 低功耗 A/D转换器 模拟集成电路
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程 文化科学
《电子机械工程》
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作品数：3328被引量：6876H指数：24
issn：1008-5300cn：32-1539/TN
主办单位：南京电子技术研究所
发文主题：雷达 电子设备 热设计 天线 有限元分析
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 一般工业技术 金属学及工艺
《科协论坛（下半月）》
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作品数：10452被引量：14158H指数：24
issn：1007-3973cn：42-1341/G3
主办单位：湖北省科协
发文主题：科协 半月刊 大学生 高校 国际标准刊号
发文领域：经济管理 文化科学 建筑科学 自动化与计算机技术 电气工程
《电子元件与材料》
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作品数：7981被引量：15001H指数：29
issn：1001-2028cn：51-1241/TN
主办单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会；国营第715厂
发文主题：电子技术 无机非金属材料 介电性能 铝电解电容器 电容器
发文领域：电子电信 电气工程 一般工业技术 理学 化学工程
《半导体信息》
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作品数：6037被引量：189H指数：3
主办单位：中国半导体行业协会分立器件分会；中国电子科技集团公司第五十五研究所
发文主题：半导体市场 半导体 GAN 氮化镓 SIC
发文领域：经济管理 电子电信 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
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