氧等离子体处理

作品数：59被引量：126H指数：6
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相关机构：东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司华中科技大学中国科学院更多>>
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氧等离子体处理对HiPIMS制备Cr涂层耐蚀性能的影响
《中国表面工程》2024年第6期236-246,共11页张美琪 董宇峰 程勇 谭诗瑶 王丽 王应泉 柯培玲 王振玉 汪爱英 
宁波市科技计划项目(2023QL049,2023Z110);中国科学院青年创新促进会会员(2023312)。
金属Cr涂层因抗氧化、耐腐蚀、抗磨损、色泽明亮等,在严苛环境防护和功能装饰领域应用广泛。但物理气相沉积(PVD)技术沉积的Cr涂层多以贯穿性柱状晶生长,耐腐蚀性能差,是科学界与产业界共同关注的难点挑战。与现有异质多层结构优化不同...
关键词：Cr涂层 高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS) 盐雾腐蚀 电化学腐蚀 
氧等离子体处理与物理吸附相结合的聚二甲基硅氧烷表面改性
《航天医学与医学工程》2024年第6期352-356,共5页施镠佳 谭映军 王春艳 聂捷琳 顾寅 巩陶婉 许梓 杨成佳 王博 丁柏 曲丽娜 李莹辉 
航天医学基础与应用国家重点实验室研究基金资助项目(SMFA20C01,SMFA17B02)。
聚二甲基硅氧烷(PDMS)适用于空间细胞培养芯片的制作,为促进细胞在PDMS表面的黏附,需对其进行高稳定性的亲水改性。本文基于氧等离子体处理和物理吸附相结合的方法对PDMS实施改性。氧等离子体处理PDMS后,继续分别在表面吸附多聚赖氨酸...
关键词：聚二甲基硅氧烷 表面改性 氧等离子体处理 物理吸附 
静电纺PU膜纤维形貌对氧等离子体亲水改性的影响被引量：1
《上海纺织科技》2024年第1期60-64,共5页朱挺 高丽 周彬 顾海宏 
通过静电纺丝技术制备了不同纤维形貌的PU膜,分析纤维形貌对氧等离子处理的PU膜表面润湿性的影响,并研究氧等离子体处理的膜材料的油水分离性能。结果表明:氧等离子体处理技术不会改变静电纺PU膜原有的纤维形貌和表面元素组成,但会在膜...
关键词：静电纺纱 PU膜 氧等离子体处理 纤维形貌 亲水性 水下疏油 油水分离 
柔性并五苯薄膜晶体管的制备及性能优化
《渤海大学学报（自然科学版）》2023年第2期159-165,共7页周淑君 刘锦 孟寒冰 张晓丹 周小叶 王玉佩 
辽宁省教育厅青年科技人才“育苗”项目(No:LQ2020016);渤海大学博士启动项目(No:0520bs004)
采用了一种全新的方法,应用真空沉积技术在弹性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)绝缘层上制备了均匀致密的并五苯薄膜.实验结果显示,通过氧等离子体处理和十八烷基三氯硅烷(OTS)气相修饰PDMS绝缘层,对沉积大晶粒的并五苯薄膜进而获得高迁移率的...
关键词：柔性 并五苯 薄膜晶体管 聚二甲基硅氧烷 氧等离子体处理 十八烷基三氯硅烷 气相修饰 
新材料帮你实现眼镜“自清洁”
《共产党员》2022年第11期57-57,共1页
新加坡科学家研发出一种新材料,主要是在镜片上附着一层特殊的薄膜,可以使聚碳酸酯镜片永久无雾,并且可以自我清洁。研究人员先用氧等离子体处理镜片,既起到充分清洁作用,又提高薄膜附着力。该透明薄膜由两层组成,一层由二氧化硅组成,...
关键词：氧等离子体处理 科研人员 自清洁 透明薄膜 聚碳酸酯 二氧化钛 二氧化硅 附着力 
眼镜起雾不用擦!新方法可永久防雾并实现“自清洁”
《少年发明与创造（小学版）》2022年第7期F0002-F0002,共1页
没有人喜欢起雾的眼镜或护目镜。当它们起雾时,人们只能不停地擦拭。近日,新加坡南洋理工大学的研究人员开发出了一种新的工艺。他们首先用氧等离子体处理镜片(或其他塑料表面)。这样做既是为了清洁它,也是为了提高随后将沉积在上面薄...
关键词：氧等离子体处理 起雾 自清洁 眼镜 护目镜 透明薄膜 塑料表面 附着力 
氧等离子体处理提高AlGaN/GaN肖特基势垒高度
《半导体技术》2020年第10期760-763,815,共5页赵勇兵 
国家自然科学基金资助项目(61904158)。
通过氧等离子体处理工艺,在AlGaN/GaN异质结构上制备了肖特基二极管。基于正向电流-电压特性和双二极管模型,对AlGaN/GaN异质结构的肖特基势垒高度和理想因子进行了计算和分析。采用氧等离子体处理的肖特基二极管,其理想因子由4.7下降到...
关键词：ALGAN/GAN 肖特基二极管 势垒高度 氧等离子体处理 理想因子 
氧等离子体处理碳纳米管对剪切增稠液增强芳纶织物防刺性能的影响被引量：6
《材料导报》2020年第18期18188-18193,共6页王瑞 李聃阳 刘星 方纾 伏立松 熊维成 
国家自然科学基金青年基金项目(11602168);天津市科委重点课题(15ZXLCSY00040)。
为提高芳纶(Kevlar)织物的防刺性能,实现防刺服的轻量化,本工作将氧等离子体处理的多壁碳纳米管(M-MWNTs)掺杂至剪切增稠液(STF)中,并浸渍芳纶织物制成防刺材料,探究M-MWNTs对STF含浸芳纶织物准静态防刺性能的影响。用拉曼(Raman)光谱...
关键词：碳纳米管 氧等离子体处理 剪切增稠液 芳纶织物 防刺性能 
新型聚苯胺/聚硅氧烷柔性纳米复合薄膜的设计及其在气体传感器中的应用被引量：1
《有机硅材料》2020年第4期34-34,共1页
NH 3是一种有毒大气污染物,浓度超过25×10^-6即会对健康产生危害。因此在某些场景中,需要安装NH 3传感器以监控环境中的NH 3含量。聚硅氧烷是用于柔性电子设备的理想基材,但因表面化学惰性,它与敏感材料之间的物理接触较弱,需使用氧等...
关键词：化学惰性 活性单体 硅氢加成反应 聚硅氧烷 气体传感器 柔性电子 表面处理 氧等离子体处理 
低温氩氧等离子体处理的无机牛骨对MC3T3-E1细胞黏附、增殖及分化的影响被引量：1
《国际口腔医学杂志》2020年第3期278-285,共8页马凯 李昊 赵红梅 王永亮 刘杰 柏娜 
国家自然科学基金(81500882)。
目的研究小鼠胚胎成骨细胞MC3T3-E1在低温氩氧等离子体处理的无机牛骨上的黏附、增殖及分化特征。方法使用低温氩氧等离子体对无机牛骨进行表面活化(实验组)后,使用扫描电子显微镜(SEM)观察无机牛骨表面形貌的变化,X射线光电子能谱分析(...
关键词：低温等离子体 无机牛骨 小鼠胚胎成骨细胞MC3T3-E1 引导骨组织再生 
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