FETAN

作品数：2被引量：3H指数：1
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射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性被引量：3
《物理学报》2002年第4期908-912,共5页郑代顺 谢天 白建民 魏福林 杨正 
用射频反应溅射制备了FeTaN纳米晶软磁薄膜 .研究了薄膜结构和磁性与制备条件的依赖关系 .研究发现 ,当Ta的含量较高时 ,在N2 +Ar混合气氛中易形成沉积态薄膜的非晶结构 .适当的热处理后 ,α Fe纳米晶从中晶化生成 .
关键词：纳米晶 软磁性 非晶态 射频溅射 结构 磁性 FETAN 
双矩形型FeTaN薄膜电感器的制造
《电子变压器技术》2000年第3期27-31,共5页姜德清 
一种采用ＦｅＴａＮ薄膜的双矩形螺旋电感器业已制成。该电感器由磁性层作间隔的内部线圈组成。本文以磁性薄膜的平面化为重点探讨电感器功能的特性。薄膜没有平面化加工的情况下，覆盖在线圈阵上层的磁膜栅格拓扑结构降低了软磁性能和...
关键词：FeTaN薄膜 电感器 双矩形型 
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