氧化锌纳米结构

作品数:34被引量:72H指数:6
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氧化锌纳米结构的制备及其生长机理被引量:2
《半导体光电》2007年第4期540-543,共4页李玉国 张秋霞 王建波 石礼伟 
将利用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上沉积的锌膜进行热氧化后,得到一维ZnO纳米棒。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电镜(TEM)研究了ZnO纳米棒的结构及表面形貌。实验结果表明上述ZnO纳米棒具有六角纤锌矿结构。金属Zn...
关键词:磁控溅射 纳米线 热氧化 退火 
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