张秋霞

作品数：4被引量：4H指数：2
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发文主题：磁控溅射纳米线退火自组装氧化锌纳米结构更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
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Au/SiO_2复合纳米颗粒膜的制备及退火行为研究
《微纳电子技术》2007年第12期1059-1062,共4页张秋霞 李玉国 王建波 张敬尧 崔传文 张月甫 
室温下用磁控溅射法在Si(111)衬底上生成Au/SiO2复合纳米颗粒膜。用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射方法(XRD)对不同温度退火后的Au/SiO2复合薄膜的表面形貌、微观结构进行了表征。SEM结果表明,随着退火温度升高,Au纳米颗粒先形成大的...
关键词：复合纳米颗粒膜 磁控溅射 金/二氧化硅 自组装 模板 
p型ZnO及ZnO基发光器件研究进展被引量：2
《微纳电子技术》2007年第9期857-862,共6页王建波 李玉国 张秋霞 夏继周 张月甫 崔传文 张敬尧 
六角纤锌矿结构ZnO是一种应用广泛的直接宽带隙(3.36 eV,300 K)半导体材料,其优异的光电、压电等性能使其成为近10年来全世界半导体研究的热点。综述了自1997年以来ZnO的p型掺杂以及ZnO基发光器件方面的研究成果,比较了不同方法制备的p...
关键词：半导体技术 P型掺杂 综述 ZNO薄膜 发光器件 
氧化锌纳米结构的制备及其生长机理被引量：2
《半导体光电》2007年第4期540-543,共4页李玉国 张秋霞 王建波 石礼伟 
将利用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上沉积的锌膜进行热氧化后,得到一维ZnO纳米棒。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电镜(TEM)研究了ZnO纳米棒的结构及表面形貌。实验结果表明上述ZnO纳米棒具有六角纤锌矿结构。金属Zn...
关键词：磁控溅射 纳米线 热氧化 退火 
注碳外延硅的荧光特性研究
《半导体光电》2006年第5期560-562,共3页李玉国 孙钦军 曹玉萍 王强 王建波 张秋霞 
研究了注碳外延硅经氢气退火及电化学腐蚀处理后的荧光特性。经能量为50keV,剂量为2×1016cm-2的碳离子注入后的外延单晶硅片,在氢气氛下高温退火及电化学腐蚀处理。荧光谱仪分析表明电化学腐蚀是蓝光发射的前提,并且不同的电化学腐蚀...
关键词：离子注入 电化学腐蚀 蓝光发射 发光中心 
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