张敬尧

作品数:7被引量:11H指数:2
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供职机构:山东师范大学物理与电子科学学院更多>>
发文主题:磁控溅射纳米氧化锌ZNOP型掺杂P型ZNO更多>>
发文领域:理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
发文期刊:《半导体光电》《山东师范大学学报(自然科学版)》《科学技术与工程》《微纳电子技术》更多>>
所获基金:教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
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热氧化法制备ZnO纳米棒及其结构表征被引量:2
《半导体光电》2010年第1期101-103,共3页李玉国 卓博士 张月甫 张敬尧 崔传文 杨爱春 
教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
在无催化剂条件下,采用热蒸发Zn源,以N2为载气体,在SiO2衬底上反应沉积制备出单晶氧化锌纳米棒。XRD研究表明纳米棒为结晶完好的纤锌矿结构,并且为非定向生长,非定向生长的氧化锌纳米棒减弱了棒之间的屏蔽效应,表现出较好的场发射效果,...
关键词:氧化锌 纳米棒 热蒸发 
Au/SiO2复合纳米颗粒膜及SiO2纳米线的制备
《纳米科技》2009年第4期35-37,41,共4页李玉国 卓博世 张敬尧 崔传文 张月甫 扬爱春 
基金项目:教育部留学回国人员科研启动基金资助
室温下用磁控溅射法在Si(111)衬底上生成Au/SiO2复合纳米颗粒膜,并分不同温度进行退火处理。1000℃退火时自组装生成空间分布均匀(直径约为70nm)的Au纳米点,从而用自组装生长方法制备了生长一维纳米材料的模板,然后,将Au催化...
关键词:磁控溅射 模板 SiO2纳米线 
纳米氧化锌的制备技术及其应用前景被引量:6
《山东师范大学学报(自然科学版)》2008年第2期39-42,共4页张月甫 李玉国 薛成山 张敬尧 崔传文 
国家自然科学基金资助项目(20080201)
综述了纳米氧化锌的主要制备方法,结构表征和材料特性.介绍了液相和气相合成法等不同制备方法的反应特征、产物形貌及其性能.分析了水热法、模板法、溶胶凝胶法和化学气相氧化法的生长机理.讨论了纳米氧化锌的应用前景,并对纳米氧化锌...
关键词:纳米氧化锌 制备 表征 
Si基GaN薄膜的制备方法及结构表征被引量:1
《微纳电子技术》2008年第4期240-244,共5页张敬尧 李玉国 崔传文 张月甫 卓博世 
分别采用射频磁控溅射、热壁化学气相沉积(CVD)、电泳沉积法制备GaN薄膜。利用扫描电镜(SEM)、荧光光谱仪对样品进行结构、形貌和发光特性的分析比较。射频磁控溅射方法中,把SiC中间层沉淀到Si衬底上,目的是为了缓冲由GaN外延层和Si衬...
关键词:GAN薄膜 SI基 溅射 化学气相沉积 电泳沉积 
RF磁控溅射微波介质陶瓷薄膜的影响因素及其应用
《科学技术与工程》2008年第7期1741-1747,共7页崔传文 石锋 李玉国 张月甫 张敬尧 
RF磁控溅射是目前应用最广泛的一种溅射沉积方法。由于陶瓷溅射的现象相当复杂,目前尚无完整的溅射理论可以用来分析溅射现象,所以通常通过实验来确定溅射过程中的影响因素。综述了RF磁控溅射陶瓷薄膜过程中的影响因素,阐述了微波介质...
关键词:RF磁控溅射 微波介质陶瓷薄膜 影响因素 
Au/SiO_2复合纳米颗粒膜的制备及退火行为研究
《微纳电子技术》2007年第12期1059-1062,共4页张秋霞 李玉国 王建波 张敬尧 崔传文 张月甫 
室温下用磁控溅射法在Si(111)衬底上生成Au/SiO2复合纳米颗粒膜。用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射方法(XRD)对不同温度退火后的Au/SiO2复合薄膜的表面形貌、微观结构进行了表征。SEM结果表明,随着退火温度升高,Au纳米颗粒先形成大的...
关键词:复合纳米颗粒膜 磁控溅射 金/二氧化硅 自组装 模板 
p型ZnO及ZnO基发光器件研究进展被引量:2
《微纳电子技术》2007年第9期857-862,共6页王建波 李玉国 张秋霞 夏继周 张月甫 崔传文 张敬尧 
六角纤锌矿结构ZnO是一种应用广泛的直接宽带隙(3.36 eV,300 K)半导体材料,其优异的光电、压电等性能使其成为近10年来全世界半导体研究的热点。综述了自1997年以来ZnO的p型掺杂以及ZnO基发光器件方面的研究成果,比较了不同方法制备的p...
关键词:半导体技术 P型掺杂 综述 ZNO薄膜 发光器件 
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